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SIIナノテクノロジー／蛍光X線膜厚計／SFT-9250　管理番号02884 中古品問合

• 2004年式
• プリント基板タイプ
• 測定対象元素　：　原子番号22（Ti）～83（Bi）
• X線源　　　　 　 ：　小型空冷式X線管（Wターゲット, Be窓）
• 検出器　　　　　 ：　比例計数管
• コリメータ　　　　：　○型： 0.1, 0.2, 0.3mmφ
  　　　　　　　　　　　 □型： 0.2 x 0.05, 0.05 x 0.2mm
• 試料観察　　　　：　CCDカメラ
• 焦点合わせ 　   ：　レーザーポインタ
• フィルタ　　　　   ：　一次フィルタ： Al－自動切換え
  　　　　　　　　　　　 二次フィルタ： Co－自動切換え
• 試料ステージ  　：　W930×D860×H900mm
  　　　　　　　　　　　（移動量：X:400mm, Y:300mm, Z:50mm）
• 測定ソフト　　 　：　薄膜FP法 （最大5層膜、10元素）、検量線法 
• 安全機能　　  　：　試料扉インターロック、試料の衝突防止機能、装置診断機能
• オプション　　 　：　めっき液分析（バルク検量線法）

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【機器ステータス】

取扱説明書

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工業検査機器（電子・金属） 　＞　 膜厚を測る