リオン／液中パーティクルカウンタ／KS-40A 管理番号03167
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【パーティクルセンサー：KS-40A】
- 光学方式：側方散乱方式
- 光 源：半導体レーザー （波長：830nm）
- 受光素子：PINタイプフォトダイオード
- 接液部材質：合成石英、PFA
- 粒径区分：0.1、0.15、0.2、0.3、0.5μm以上
- 定格流量：10mL/min
- 最大定格粒子濃度：1200個/mL（0.1μmの粒子において計数損失5%時）
- 試料温度範囲：15～35℃（セル部に結露を生じないこと）
【コントローラー：KE-40A】
- 粒径区分 ： 最大6段階 （KS-40Aと組み合わせた場合は5段階）
【ベローズサンプラ：K9904A-A※九州リオン】
- ポンプ方式：ベローズ（ふいご）方式
- 使用流体：フォトレジスト・純水・薬液
- 流体温度範囲：5～40℃
- 最大排出量：15mL／1ストローク
※ノートPC付属（制御用）
【機器ステータス】
取扱説明書有
接液部を腐食、損傷しない液体のみ使用可能
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