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中古機器販売
- 日立／イオンミリング装置／E-3200 管理番号03212 入荷しました 中古品問合
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- 走査電子顕微鏡（SEM）や表面分析装置（AES,ESCA,S
IMSなど）用試料の前処理装置。 - アルゴンのイオンビームを試料表面に照射して約5mm径の範囲をスパッタエッチングすることができます。
- 年式 ： 2008年式
- イオンガン ： イオンガンタイプ：ホローカソード／アノード形1本
印加電圧：0～6kV（連続可変）
放電電流：0～1.5mA（1.5mAリミッタ回路付）
タイマー：セット数字 0～999（時間単位0.1s,1s,0.1m,1m,0.1h ,1h,10h 7段階）
ミリングレート スポットミリング：300nm/min(Cu)
フラットミリング：50nm/min(Cu)(φ5mm） - 試料ステージ ： 回転：約25min-1
傾斜10～90°
試料サイズ（最大）：φ25mm（直径）×15mm（高さ） - 放電ガス ： ガス：純アルゴンB（99.999%以上）
圧力・流量：0.03MPa・5cm3/min
流量調整：N.V（ニードルバルブ）／M.F.C（マスフロー）切替可能 - 排気系 ： 全自動高真空排気系
油拡散ポンプ D.P.（4インチ）：400dm3/s
ロータリーポンプ R.P.：140dm3/min（本商品には付属しておりません）
到達真空度：5×E-4Pa（新品時）
動作真空度：5×E-2Pa（新品時） - 冷却水 ： 流量1～1.5dm3/min
、50～100kPa、10～25℃（本商品にチラーは付属しておりません）
- 光学顕微鏡 ： ズーム式実体顕微鏡（23.1～90倍）
- 電源 ： AC100V 50/60Hz 15A
- 寸法・重量 ： W700×D525×H1250（mm）・約100kg
【機器ステータス】
動作確認済み。
ご使用にはロータリーポンプと冷却水循環装置が別途必要となります。
- 走査電子顕微鏡（SEM）や表面分析装置（AES,ESCA,S
