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東研／X線顕微検査装置／TUX-3000W　管理番号03214 入荷しました 中古品問合

• 2005年式
• Ｘ線源種類：0.4μm～3μm分解能切り替え式開放管Ｘ線源
• フィラメント種類：高輝度タイプLab6チップ
• 最高分解能（マイクロチャート）：0.4μm（JIMAチャート）
• Ｘ線出力：管電圧：40～120kV / 管電流：0～200μA
• 最大幾何倍率：1500倍
• 最大モニター倍率：6000倍
• ステージサイズ：直径60mm
• 最大検査範囲：直径60mm
• ステージストローク：Ｘ軸：±30nm、Ｙ軸：±30mm、Ｚ軸：200mm、θ軸：350°
• 傾斜検出方式／角度：ステージ傾斜方式 / 45°
• 検出器：   検出器：4/2インチ切り替え式 Ｉ.Ｉ アルミウィンドウ
  　　　　　　 カメラ  ：145万画素ＣＣＤ 10bitグレースケール
• 最大視野サイズ：16mm×12mm
• 外寸：W1040×H2080×D1180㎜
• 重量：約1000kg
• 電源：AC100V、3kVA（含オプション）

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【機器ステータス】

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