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STS社/ディープシリコンエッチング装置/MUC-21 管理番号04346

商品構成
  • 本体(分電盤、電装ユニット、ターボポンプ、搬送システム、ガスBOX)
  • ドライポンプ(プロセスチャンバ、ロードロック用)
  • チラー(プラズマソース冷却用、プロセスチャンバ及びロードロック用)
  • ドライエッチング廃ガス処理装置


【機器ステータス】
 取扱説明書有


STS社/ディープシリコンエッチング装置/MUC-21
住友精密工業/ドライエッチング/MUC21
Surface
住友金属/MEMS用ICP装置/MUC21
STS/深掘りエッチング装置/muc-21
SUMITOMO/シリコンMEMS/ASE

半導体製造装置  >  ウエハ製造(前工程)

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