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ニコン FPD/300mmウェハ検査顕微鏡 エクリプスL300D 明暗視野 (落射照明/透過照明両用機) 【レンタル品】
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ニコン FPD/300mmウェハ検査顕微鏡 エクリプスL300D 明暗視野 (落射照明/透過照明両用機) 【レンタル品】
【仕様】
観 察 法
明視野、暗視野観察タイプ
鏡 筒
三眼鏡筒(デジカメ装着可能)
ステージ移動量
354×302mm(300m
mウェハホルダー/ガラスステージ)
透過照明観察可能範囲 : 354×268mmになります。
総 合 倍 率
50、100、200、500、1000×
【納期】
即 納
【使用用途】
ウェハ表面検査、LCD、PDP 、プリント基板、その他大型試料等
【商品特徴】
世界トップレベルCFI60システムの搭載により、これまでにない高コントラスト、高透過率
対物レンズの同焦点距離60mmを最大限に生かした高N.A.と長作動距離を両立
350×300mm ステージで大口径ウェハ、大型液晶基板(注1)の高度な検査をサポート
普通観察の明視野観察に加え、突起物や異物、キズなどの検出に効果的な暗視野観察まで対応可
顕微鏡全体に施された帯電防止機能と正立傾角三眼鏡筒のエルゴノミクス(人間工学)設計
【その他】
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