【仕様 ・ 機能】| 真空法 | ・最小可検リーク量: ○真空法 5x10-13Pa. ○スニファー法 1x10-8Pa.m ・ヘリウム排気速度:1.1L/s ・粗引ポンプ速度:1.7m3/h(30L/min) |
| スニファー法 |
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| 対応ガス | He |
| ヘリウムバックグランド除去機能 | 自動/マニュアル |
| オペレーターインターフェイス | カラータッチパネルディスプレイ |
| インターフェイス | RE-232C |
| 起動時間 | 2min、3.5min(自動感度校正含時) |
| 吸気口径状 | NW25 |
| 記録 | SDメモリーカード |
| 大きさ・重量 | W350×D245×H414mm ・ 21kg |