ナプソン／抵抗率測定機／CRESBOX 管理番号04362
2010年式試料サイズ：φ2～φ8インチ、または ～156mm角測定範囲：1mΩ・cm ～ 300kΩ・cm（抵抗率） 5mΩ/sq ～ 10MΩ/sq（シート抵抗）測定プローブ：精密高精度4探針プローブ（JANDEL社製）電源：AC100V 50/60Hz付属品：制御用PC、吸着用真空ポンプ（アルバック製）、針圧加重用おもり（50,100,200,300g） `…
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ウシオ電機／全面露光装置／FX-500BN01 管理番号04146
2007年式適合ウェハ：6インチウェハ対応紫外線光源：500W超高圧水銀UVランプ（USH-500BY1）主波長：365,405,436nm有効照射面積：φ200mm露光制御：2～999.9秒（レシピ設定）ウェハ搬送方式：自動搬送（ロボット搬送）電源：AC200V 50/60Hz 30A寸法/重量：W800×D1637×H2033（mm） / 約400kg …
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国際電気アルファ／抵抗率測定器／VR-120A 管理番号03811
シリコンウェハの抵抗率、シート抵抗、金属膜厚等の測定に使用する高性能測定器 測定方法：直流4探針法 測定範囲 V-Iレシオ：1mΩ ～ 20MΩ 抵抗率（バルク）：1mΩ・cm ～ 10MΩ・cm 抵抗率（スライス又はレイヤー）：0.9μΩ・cm(t=0.1μm) ～ 10MΩ・cm(t=1.5mm) シート抵抗：4mΩ/sq ～ 90MΩ/sq 金属膜圧：…
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松永技研／ウェハ剥離装置／ 管理番号03716
【装置概要】 ワックスにより張り合わせ、固めた状態のウェハとガラスを上下の加熱されたチャックで挟み込み溶融させ、上下から真空吸着させて剥離させる装置となります。 2007年式 ウェハサイズ：6インチ 剥離作業：シーケンサによる自動制御（マニュアル切り替え可能） ヒーター：スペースヒーター 加熱温度：120℃～2…
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リンサードライヤー 管理番号82885
￥400,000.-（送料別途／消費税別途）対応ウェハ：6インチウェハキャリア用（×2キャリア）回転数：1100～1r.p.m2ステップ処理可能 【機器ステータス】 動作確認済み特価販売品 ※前オーナーのOEM商品の為
YOUTEC／XeF2 エッチング装置 管理番号02960
使用ガス ： XeF2 安全対策 ： 非常停止スイッチ、漏水センサー、ガス検知器 タッチパネル操作 （ガスライン、排気ライン、バルブ、弁の状態を表示） ロボットによる搬送（前室～ロボット室～反応室） ドライポンプでの真空引き ニコン製実体顕微鏡付属 試料サイズ ： ～8インチまで対応（５インチ用ホルダー付属…
