真空機器
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蒸着装置
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日立／フラットミリング装置／E-3200 管理番号03212
走査電子顕微鏡（SEM）や表面分析装置（AES,ESCA,SIMSなど）用試料の前処理装置。 アルゴンのイオンビームを試料表面に照射して約5mm径の範囲をスパッタエッチングすることができます。 年式 ： 2008年式 イオンガン ： イオンガンタイプ：ホローカソード／アノード形1本 印加電圧：0～6kV（連続可変） …
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