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ヤマト科学／プラズマクリーナー／V1000X　管理番号04152

  商品構成：本体、真空ポンプ、冷却水循環装置   プラズマモード：DP／RIE   高周波電源：13.56MHz   電極：2段電極   有効ステージ寸法：W300×D300（mm）   反応ガス：2系統   安全装置：ドアスイッチ、側板インターロック、非常停止スイッチ   電源：AC200V　φ3　50/60Hz　30…

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