ナプソン／抵抗率測定機／CRESBOX 管理番号04362
2010年式試料サイズ：φ2～φ8インチ、または ～156mm角測定範囲：1mΩ・cm ～ 300kΩ・cm（抵抗率） 5mΩ/sq ～ 10MΩ/sq（シート抵抗）測定プローブ：精密高精度4探針プローブ（JANDEL社製）電源：AC100V 50/60Hz付属品：制御用PC、吸着用真空ポンプ（アルバック製）、針圧加重用おもり（50,100,200,300g） `…
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小坂研究所／高精度・全自動微細形状測定機／ET4500 管理番号04340
2004年式 用途 ： 大型基板上の薄膜向け段差測定 最大サンプルサイズ ： 600×600mm 再現性 ： テーブル中央1σ 1nm、テーブル中央以外 1σ 3nm 測定範囲 ： Z：100μm、 X：200mm 分解能 ： Z：0.1nm、 X：0.1μm 測定力 ： min0.5μN …
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SIIナノテクノロジー／ケイ光X線膜厚計／SFT-9200 管理番号03866
2004年式 測定元素 ： 原子番号22（Ti）～83（Bi） 線源： 小型空冷式X線管（Wターゲット, Be窓）、管電圧： 45kV、電流：1mA コリメータ：○型： 0.025、0.5、0.1、0.2、0.3mmφ※確認中 試料観察：CCDカメラ 焦点合わせ：レーザーポインタ フィルタ： 一次フィルタ：…
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国際電気アルファ／抵抗率測定器／VR-120A 管理番号03811
シリコンウェハの抵抗率、シート抵抗、金属膜厚等の測定に使用する高性能測定器 測定方法：直流4探針法 測定範囲 V-Iレシオ：1mΩ ～ 20MΩ 抵抗率（バルク）：1mΩ・cm ～ 10MΩ・cm 抵抗率（スライス又はレイヤー）：0.9μΩ・cm(t=0.1μm) ～ 10MΩ・cm(t=1.5mm) シート抵抗：4mΩ/sq ～ 90MΩ/sq 金属膜圧：…
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オリンパス／超音波厚さ計／37DLPLUS 管理番号03606
￥５００，０００．－ （送料／消費税別途） 主として腐食金属アプリケーション用の携帯式超音波厚さ計 2006年式 厚さ測定範囲：0.5～508㎜ 測定分解能：0.1/0.01㎜ 材料音速範囲：0.762～13.999mm/μs 材料音速分解能：0.001mm/μs ゼロ較正レンジ：2500～…
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ケット科学／電磁膜厚計／LE-200J 管理番号03533
￥１８０，０００.－(送料／消費税別途) 測定方式：電磁誘導式 測定対象： 磁性金属上の非磁性被膜 測定範囲：0～1500μmまたは60.00mils 測定精度：15μm未満：±0.3μm、15μm以上：±2％ 分 解 能：100μm未満：0.1μm、100μm以上：1.0μm 統計機能：測定…
