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日立 プラズマ洗浄装置 SPC-100B 管理番号07659

・ 年 式 : 2007年
・ 電極構造 : RIE、PE
・ 高周波電源 : 13.56Mhz、Max600W、RFオートマッチング
・ 排気系 : ロータリーポンプ
・ 電源 : 3相200V 50/60Hz
・ ガス導入 : O2、Ar

【機器ステータス】
取扱説明書あり。
前面パネルなし、試料投入は手動となります。

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