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SAMCO プラズマクリーナー PC-1000 管理番号07740

・年 式: 2006年
・反応室: W459×D615×H459mm (SUS304製)
・電極構造: シェルフ型電極、電極間隔可変(25mm間隔、325mmまで)
・電極: グランド電極(アノード電極)アルミ製 W405×D410mm 接続プラグ2個付
     パワード電極 アルミ製 W350×D425mm 接続プラグ2個付
・高周波電源: 13.56MHz 水晶発振 ソリッドステート式 最大1KW
・マッチング回路: フルオートマッチング(手動操作可能)
・ガス導入系: マスフローコントローラ 2系列 
 Gas1:O2 500SCCM 、 Gas2:Ar 100SCCM
・ガス導入バルブ: 電磁駆動系ストップバルブ
・排気系: 直接型ロータリーポンプ
・排気バルブ: アングルベローバルブ (エアー駆動式)
・架台: RF電源収納
・外寸: 本体 W1000×D1067×H1345mm
       (架台含む、D:背面バルブ含む、H:タワーライト等含まず)
     ポンプ W450×D787×H689mm
・電源: 三相 AC200V  50/60Hz  30A

【機器ステータス】
取扱説明書あり

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電子工業分野その他  >  半導体製造装置  >  ウエハ製造(前工程)  >  その他装置  >  電子部品製造装置  >  FPC製造関連  >  SMT実装関連  >  FPD製造関連  >  その他製造装置  >  真空機器  >  その他真空機器

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