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SAMCO コンパクトエッチャー・アッシング装置 FA-1 管理番号07782

年  式  : 2005年式
反応室   : 石英ベルージャー φ210×64 (H) mm 上部蓋 及び 下部フランジ AL製
        上部電極 AL製 φ140mm 反応室開閉扉一体式
        下部電極 AL製 φ120mm 基板冷却機能(水冷)付き カソードカップリング方式
高周波電源 : 13.56MHz、処理時間設定用タイマー、手動π型マッチングユニット
ガス導入  : ガスバルブ -- 電磁バルブ(プロセスガス及びリークガス)
        流量制御 -- メカニカル・フローメーター プロセスガスのみ
排気系  : 直接型ロータリーポンプ
真空計  : ピラニー真空計
制御系  : シーケンス・コントローラーによる自動運転
本体寸法  : 約W400mm×D440mm×H285mm
高周波電源部寸法  : 約W400mm×D620mm×H800mm(ラック込み)
設置条件  : 電源: AC100V 単相 20A
        冷却水: 供給量 約2リットル/min 供給圧 0.1~0.2MPa
                    (接続口 Rc 1/4インチ) ※給水/排水とも
        供給ガス: 供給圧 0.1MPa  (接続口 1/4インチSWL 継手)
        ダクト ロータリーポンプ排気口用(強制排気が望ましい)
付属品   : ロータリーポンプ

【機器ステータス】
取扱説明書あり

samco/コンパクトエッチャー/FA-1samco/Compact Etcher/FA-1SAMCO/エッチング装置/FA-1
サムコ/アッシング装置/FA-1samco/エッチャー/FA-1samco/Etcher/FA-1
サムコ/エッチングマシン/FA-1samco/コンパクトエッチャー/FA-1

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