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ウシオ電機 エキシマ照射処理装置 UVS-TE200-BG 管理番号08024

<基本仕様>
 適合ワークサイズ:Φ200mm
 ホットプレート材質:アルミ合金 (表面硬質アルマイト処理)
 ホットプレート温度範囲:常温~120℃ (プレート表面)
 処理方法:枚葉処理
 紫外線光源:誘電体バリア放電エキシマランプ
 露光波長:中心波長 172nm (半径幅14mm)
 露光照度:初期値 5.5mW/c㎡ 以上(照射窓面で測定)
 照射距離:0.5mm~20.0mm(照射窓下面~ワーク上面)
 外寸・重量:本体:W600×D520×H1420mm 約100kg
        オゾン分解フィルター:W500×D770×H510mm 約60kg
<ユーティリティ仕様>
 ランプ冷却用冷却水:給水水温10~25℃
           流量 2.0~3.0L/min
           水圧 0.1~0.3MPa
 ガス:N2 0.3~0.4MPa 30~40L/min
      クリーンエアードライエアーorO2 5~10L/min
 ワーク吸着用真空:約80KPaの負圧
 ランプハウスorチャンパー排気:2㎡/min以上
 電源:単相 AC200V 20A
<付属品>
 紫外線積算光量計 :UIT-150-A (ウシオ電機製) 
 真空紫外エキシマ光モニタ :VUV-S172 (ウシオ電機製) 感度波長域 150~400nm

【機器ステータス】
取扱説明書あり

ウシオ電機/エキシマ照射処理装置/UVS-TE200-BGUSHIO/EXICIMER IRRADIATION UNIT/UVS-TE200-BGウシオ電機/エキシマ照射装置/UVS-TE200-BG
ウシオ/エキシマ照射ユニット/UVS-TE200-BGushio/EXICIMER/UVS-TE200-BGウシオ電機/エキシマ照射処理装置/UVS-TE200-BG
ウシオ電機/紫外線積算光量計/UIT-150-A

電子工業分野その他  >  UV関連機器  >  半導体製造装置  >  ウエハ製造(前工程)  >  その他装置  >  電子部品製造装置  >  SMT実装関連  >  その他製造装置  >  クリーンルーム機器  >  その他機器

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