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エリオニクス TFE電子ビーム描画装置 ELS-7500 管理番号08064

商品構成 : 照射系、画像観察系、試料室・ステージ系、架台(排気系)、
         描画制御系、別置きCADデーター作成用PC
電子銃  : 熱電界放射型(TFE)、ZrO/Wチップ使用
最大試料サイズ : 5インチφウェハー及び5インチ□マスク
             (現状は不定形小片試料用カセット □15mm×4)
装置寸法重量  : 本体部W1010×D860×H約2000mm 700kg
            制御部W550×D750×H1800mm 280kg
            

【機器ステータス】
取扱説明書あり

エリオニクス TFE電子ビーム描画装置 ELS-7500ELIONIX Electron Beam Lithography Systems ELS-7500エリニクス EB描画装置 ELS

半導体製造装置  >  ウエハ製造(前工程)

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