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ヤマト科学 プラズマクリーナー V1000X 管理番号08582

・ プラズマモード : DP/RIE
・ 使用ガス : O2、Ar、N2またはドライエアー
・ 棚板 : 2枚
・ 電極 : 二段電極(独立)
・ 電源 : 3φ 200V 30A 50/60Hz
・ 高周波電源 : 13.56MHz
・ 有効ステージ寸法 : 幅300mm×奥行300mm

付属品:真空ポンプ(alcatel adixen製)

【機器ステータス】
取扱説明書有

ヤマト科学/プラズマクリーナー/V1000XYAMATO KAGAKU/Plasma Cleaner/V1000Xヤマト科学/プラズマ洗浄装置/V1000X
ヤマト科学/PLASMA CLEANER/V1000XYamato kagaku/ドライクリーナー/v-1000xyamato kagaku/PLASMA/V1000x
yamato/バッチ式プラズマ/V-1000XYAMATO KAGAKU/Plasma Cleaner/v1000x

電子工業分野その他  >  半導体製造装置  >  ウエハ製造(前工程)  >  その他装置  >  電子部品製造装置  >  その他製造装置  >  その他分類  >  真空機器  >  その他真空機器

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