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日本電子 走査電子顕微鏡 JSM-6610LA 管理番号08608

・分解能 : 高真空モード3.0nm(30 kV)、8nm(3 kV)、15nm(1 kV)
       低真空モード 4.0nm(30 kV・反射電子)
・倍率 : ×5 ~×300000
・照射電流 : 1pA~1uA
・加速電圧 : 0.3 kV ~ 30 kV(55段)
・観察信号 : 高真空モード 2次電子、反射電子(組成、凹凸、立体)、EDX分析
        低真空モード 反射電子(組成、凹凸、立体)
・フィラメント : プリセンタードヘアピン形タングステンフィラメント
・自動機能 : フォーカス、非点補正、輝度コントラスト、ガンコントロール
・試料ステージ : 5軸モータ駆動(XYZRT)
  X125mm、Y100mm、Z5~80mm(フォーカス範囲WD5~48mm)、R360°、T-10~90°
・試料ホルダ:Φ12.5mm試料ホルダ及び7個ホルダが入るアダプタ付属
・排気系 : 完全自動、TMP1台、RP2台(低真空10~270Pa調整)
・電源 : 単相AC100V 50/60Hz 3.0kVA
・寸法、重量 : 鏡筒系ユニット W750×D1000×H1500mm、約500kg
         操作テーブル W900×D900×H750mm、約50kg
         EDSユニット 約25kg
         油回転ポンプ(RP) W500×D200×H280mm、約25kg ※2台あり 
PC関連品 : パソコンユニット1台、液晶モニタ×2台

【機能、その他装備品について】
・エネルギー分散形X線分析装置(EDS:エリア10mm、RESO129eV)付属
・反射電子検出器付属
・低真空モード機能付属
・チャンバスコープ(CCDカメラにてチャンバ内の試料を撮影、ステージ連動機能)
・簡易測定機能(2点間、円、線幅、角度、面積、カウント計数)
・ジョイスティック付きオペレーションキーボード付属  など・・・

【機器ステータス】
取扱説明書あり

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日本電子SEM/日本電子EDX付きSEM/EDX付き走査電子顕微鏡/EDX付き電子顕微鏡JEOL JSM-6610
JEOL JSM-6610LASeries Scanning Electron Microscope

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