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日本電子 オートファインコーター JFC-1600 管理番号08610

真空チャンパ:外径120mm×高さ120mm ガラス製
試料台:直径 64mm
スパッタリング方式:マグネトロン型
スパッタリング電流:10、20、30、40mA プリセット方式
ターゲット:直径57mm Pt 厚さ0.1mm
タイマー:1~300S
高圧安全回路:組込み
使用条件:25℃±5℃
使用圧力:20Pa以下
真空ポンプ:30L/min 直結型ロータリーポンプ
外寸・重量
  本体:W350×D350×H282mm 約12kg
  真空ポンプ:W280×D120×H215mm 約10kg
電源:AC100V 50/60Hz
※取扱説明書、真空ポンプGHD-030(ULVAC製) 、ターゲット1個付属。
※弊社にて電源投入、真空引き、付属ターゲットでのコーティング確認済みです。

【機器ステータス】
取扱説明書あり

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