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日本電子 走査型電子顕微鏡 JSM-6510 管理番号08649

・年式 : 2013年式
・分解能 : 高真空モード3.0nm(30 kV)、8nm(3kV)、15nm(1kV)
・倍率 : ×5 ~×300000(画像サイズ128 mm×96 mmにて)
・標準レシピ : 有り
・加速電圧 : 0.5 kV ~ 30 kV
・フィラメント : プリセンタードヘアピン形タングステンフィラメント
・電子銃 : 完全自動、手動調整可能
・自動機能 : フォーカス、オート輝度、オートコントラスト、非点補正など
・試料交換 : ステージ引出し式
・ステージ : 5軸手動(X80mm、Y40mm、Z5~48mm、T-10~90°、R360°)
        最大試料サイズφ150mm装着可能、φ125mm全面観察可能(R動使用)
・画像フォーマット : BMP、TIFF、JPEG
・排気系 : 完全自動、DP1台、RP1台
・電源 : 単相AC100V 、50/60Hz、3.0kVA
※EDS等分析装置、低真空モードは付属しておりません。
※反射電子検出器付属しております。
※ロータリーポンプG-100DB、DP冷却水用チラーCA-1112CE付属しております。
※PC Win7付属しております。

【機器ステータス】
取扱説明書あり

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