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日立 走査型電子顕微鏡 SU1510 管理番号08708

・二次電子像分解能 : 3.0nm(高真空、加速電圧30kV、WD5㎜)、15nm(高真空、加速電圧3kV、WD5㎜)
・反射電子像分解能 : 4.0nm(低真空モード6Pa、加速電圧30kV、WD5㎜)
・倍率 : 5~300,000倍
・フィラメント : カートリッジ(タングステンフィラメント)
・加速電圧 : 0.3~30kV
・イメージシフト : ±50um以上(WD=15mm)
・真空ポンプ : ターボ分子ポンプ×1、ロータリーポンプ×1
・試料微動装置 : XY2軸モータードライブユニット
          電動 X:0~80㎜、Y:0~40㎜
          手動 Z(WD) 5~50mm、R 試料回転360度、T 試料傾斜-20~90度
          最大試料サイズ : 153mm径
・電源 : 単相 AC100V、2kVA、50/60Hz (電圧変動±10%、アースD種単独接地)
・寸法、重量 : 本体部 約W1100×D1000×H1500㎜、約400kg
・概算設置スペース : 約W2300×D1600×H1600㎜
(本体、SEM机、EDX机、メンテスペースを含めた概算)

※付属品・オプション
BSE反射電子検出器、ESED低真空二次電子検出器、EDX(X-max 20/堀場)、
3D VIEW 3次元ソフト、Zigzag Capture連続視野画像取込機能、Hi-Mouse、
PC、SEM Data Manager、XY2軸モータードライブユニット、
交換用フィラメント・各種絞り・試料台等付属、取扱説明書、リカバリーCD類など

【機器ステータス】
取扱説明書あり

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