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ビューラー 精密平面研磨システム MPC3000 管理番号03074

    ICチップの裏面研磨、ウェハ表面の膜、多層パターンの段階的な削除ができます。

    • 研磨盤回転数 : 10~490RPM
    • 試料装着ユニット : 加熱/冷却ユニット(最高温度110℃)、真空ポンプ内蔵
    • 研磨固定冶具 : 1μ m読みデジタルマイクロメータ、揺動装置接続
    • 電源 : AC100V 50/60Hz 750W
    • 寸法/重量 : 研磨機本体 W572×D715×H572(mm)/91kg
      試料装着ユニット W305×D475×H278(mm)/15kg


    【機器ステータス】

    装着ワックス、離型剤、研磨フィルムは付属しておりません。


    ビューラー/精密平面研磨システム/MPC3000 ビューラー/精密平面研磨システム/MPCTM3000
    Buehler/平面研磨/MPC3000IC
    buehler/背面研磨システム/MPCTM3000IC
    三啓/背面研磨装置/MPCtm3000ic
    BUEHLER/研磨装置/Ecomet

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