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日立 走査型電子顕微鏡 S-3400N 管理番号07828

・二次電子像分解能 : 3.0nm(高真空モード)、10nm(高真空モード、加速電圧3kV)
・反射電子像分解能 : 4.0nm(低真空モード)
・倍率 : 5~300000倍
・フィラメント : カートリッジ(タングステンヘアピンフィラメント)
・加速電圧 : 0.3~30kV
・イメージシフト : ±50um以下(WD=10mm)
・試料微動装置 : TypeⅡ 5軸モータードライブユニット
          X 0~100mm、Y 0~50mm
          Z(WD)5~65mm、試料回転360度、試料傾斜-20~90度
・最大試料サイズ : 200mm径
※付属品・オプション
 PC、SEM Data Manager、5軸モータードライブユニット、
 油回転ポンプGLD-136B×1台、コンプレッサ日立0.2LE-5S
 交換用フィラメント、各種試料台等付属品、
 EDX分析装置、反射電子検出器、低真空二次電子検出器

【機器ステータス】
取扱説明書あり

S-3400N/s-3400N/S-3400/s-3400/S3400N/s3400n/S3400n/s3400N/S3400/s3400日立 SEM/hitachi sem/Hitachi SEM/日立 sem/日立 電子顕微鏡/hitachi 電子顕微鏡Hi-SEM/Electron Microscopes/Electron microscopes/Electron Microscope/electron microscope
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