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ニコン 超高分解能非接触三次元表面形状計測システム BW-A505(MM-800LU)

〇年式 : 2014年

〇主な仕様
・ピエゾ駆動方式    :  レボルバ駆動
・ピエゾ走査レンジ   :  100μm※測定は約90μm
・XYZ軸駆動      :  各手動※ピエゾ駆動部は電動
・計測光学系      :  白色二光束干渉計
・二光束干渉対物レンズ :  10、20、50、100×
・マイケルソン型干渉レンズ  :  2.5、5×※対物レンズ用単ホルダ付属(1本装着用)
・視野確認用対物レンズ :  5×
・実効高さ分解能    :  8nm(8μm段差測定時)

〇主な測定項目
・粗さ測定       :  2次元粗さ(Ra、Rq、Rz等)
               3次元粗さ(Sa、Sq、Sz等)
・プロファイル表示   :  カーソルによる2点間の高さ、距離、角度等
・レポート表示     :  処理画像および粗さ指標値のEXCEL出力

〇顕微鏡部
・本体型式       :  ニコン 大型測定顕微鏡 MM-800/LU
・測定可能軸      :  X、Y、Z軸※Z軸フォーカスエイド未搭載
・搭載ステージ     :  8×6B(測定ストローク200×150mm)

〇除振台
型   式       :  HERZ アクティブ微小振動制御システム h-L-TS-300


取扱説明書付属




ニコン 白色干渉顕微鏡 BWNIKON Accurate sub-nano-surface profiler with non-contact measurement BWニコン 超高分解能非接触三次元表面形状計測システム BW
ニコン 三次元表面形状計測システム BWニコン 超高分解能非接触三次元表面形状計測システム BWニコン 超高分解能非接触三次元表面形状計測システム BW
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