| 倍率 | ×10~20,000 |
| 観察モード | 高真空モード/低真空モード |
| 電子銃 | フィラメント・ウエネルトー体形グリッドの小型電子銃 |
| 加速電圧 | 15kV/ 10kV/5kV 3段切替 |
| 試料ステージ | X-Y軸手動式、X方向 35㎜、Y方向 35㎜ |
| 最大試料サイズ | 直径70㎜、高さ50㎜ |
| 信号検出 | 二次電子、反射電子 |
| データ表示/表示内容 | 加速電圧、倍率、μバー、μ値など |
| ファイル保存 | TIFFまたはJPEG形式 |
| 基本システム OS | Windows VISTA |
| 構成 |
装置本体、RP、ノートPC |
| 本体ユニット | W492×D458×H434㎜ 69㎏ |
| RP | 約5㎏ |
| 入力電源 | 単相AC 100V(400VA) (変動±10%以内)、50/60Hz |
| 排気時間 | 約3分 |
| 排気 | TMP、RP |
| 測定 |
2点間 簡易測長(観察中画面にて) |
【納期】 即納