日本電子 コーティング装置 NeoCoater 【レンタル品】
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構成 本体＋RP（20L/min） 試料台サイズ φ70㎜ 試料台高さ 32㎜～73㎜（ターゲットに対して） 電源 単相100V 50/60Hz 440W 装置重量 本体9.3㎏＋RP9㎏ 使用真空度 ～4Pa スパッタ時間 1分（標準時間）、2分、3分 切換式 ターゲット Au ターゲットサイズ φ49×0.05㎜ 本体寸法 W200×D230×H325 ㎜ 【納期】 即納
【商品特徴】
- 非導電性試料に導電性コーティングをすると鮮明でシャープな画像が容易にえられます。
- コーティング膜は、数nmと薄いので、試料の微細構造を覆い隠すことはありません。
- コーティングにはスパッタコーターを使います。
- 排気2分、コーティング1分と合計約3分の短時間で均一なコーティングができます。
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