Diener Electronic 低圧プラズマ処理装置(プラズマ洗浄装置) FEMTO 【レンタル品】
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本体 Femto Type F（外寸：562×420×211
コントロール
PCCE制御、タッチパネル(3.5"TFT)、
手動運転モード、自動運転モード（50種類のプログラムを記憶可能）真空チャンバー
ステンレス製 角型（W103×D285×H103mm）
入り口寸法103×103mm
※RIE：H50mm DP：H30mmサンプルトレー ステンレス製（W100×D270×H3mm） 電極 40kHz/1000 W、出力 0～100W 無段階調整 接続 ガス配管接続口 6mm Swagelock 電源 100V （トランス付属） マスフローコントローラー（ＭＦＣ） 酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム、水素等の使用可（腐食性ガスは使用不可） 真空ポンプ Leybold S1.5
【納期】即 納
【商品特徴】- 容積3リットルで、研究開発に最適な真空40KHzプラズマ洗浄装置です。
- 電源投入後数十秒でプラズマ処理が可能
- 小型・軽量（20㎏）、シンプルなボタン操作で誰にでも簡単にプラズマ処理が可能
- 容積3リットルで、研究開発に最適な真空40KHzプラズマ洗浄装置です。
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