観察法 | 明視野/暗視野 |
照明 | 落射/透過 |
照明系 | 10WLED白色照明(落射・透過用) |
鏡筒 | 正立三眼鏡筒(100:0/0:100) |
測定軸 | X・Y・Z |
ステージ移動量 | X150×Y100㎜ |
Z軸移動量 | 155㎜ |
測定精度 | 150㎜ストローク(3+3L/150)㎛【L : 測定長(㎜)】 |
最小分解能 | 0.1㎛ [マニュアル3軸タイプ] |
測定総合倍率 | 50、100、200、500X(レボルバによる切替タイプ) |
外形寸法 | 465(W)×437(D)×592(H)㎜ |
質量 | 95㎏(標準組合わせ) |