コントローラ | IM-6600 |
ヘ ッ ド | IM-6120 |
撮影素子 | 1型 660万画素CMOS |
ディスプレイ | 10.4型 LCDモニタ (XGA:1024×768)
外部モニタ接続可能 |
視 野 | 広視野測定モード : X軸φ100mm×200mm 高精度測定モード : X軸□25×125mm |
最小表示単位 | 0.1μm |
繰り返し精度 | 広視野測定モード : ステージ移動なし:±1μm ステージ移動あり:±2μm 高精度測定モード : ステージ移動なし:±0.5μm ステージ移動あり:±1.5μm |
測定精度2σ | 広視野測定モード : 連結なし:±5μm 連結測定:±(7+0.02L)μm 高精度測定モード : 連結なし:±2μm 連結測定:±(4+0.02L)μm |
記 録 | 250GB |
使用周囲温度 | +10~35℃ |
使用周囲湿度 | 20~80%RH (結露なきこと) |
透過照明 | 方式 : テレセントリック透過照明 LED Class : Class 1 波長 : 530nm 最大出力 :10μW |
落射照明 | 方式 : 4分割リング照明 LED Class : Class 1 波長 : 460~630nm 最大出力 :100μW |
Zステージ | 移動範囲 : 30mm(電動) 耐荷重 :2kg |
電源電圧 | AC100~240V 50/60Hz |
質 量 | 約28㎏ |
付属品 | キーボード・マウス |