【主な仕様】 |
測定範囲 : X軸 100mm Z1軸検出部 水平状態より±30mm |
Z2軸(コラム)移動範囲 : 300mm |
X軸傾斜角度 : ±45° |
分解能 : X軸 0.05μm、Z1軸検出器0.04μm、Z2軸(コラム)1μm |
駆動速度 : X軸 0~80mm/s 及び手動、Z2軸(コラム)0~30mm/s 及び手動 |
測定速度 : 0.02~5mm/s |
真直精度 : 0.8μm/100mm(X軸水平姿勢時) |
指示精度(20°) : X軸 ±(0.8+0.01L)μm L=駆動長さ(㎜) |
広範囲:1.8μm/100mm 狭範囲:1.05μm/25mm |
Z1軸検出器 ±(1.6+|2H|/100)μm H=水平位置からの測定高さ(mm) |
測定方向 : 引き、押し両方向 |
測定面方向 : 上下両方向 |
測定力 : 30mN ベース寸法 : W600 ×D450(mm) |
付属品 : 小穴アーム AB-33【12AAM103】 |
小穴スタイラス SPH-42(H20mm)【12AAM105】 |
十字動テーブル/X100×Y50㎜、両締式回転万力台 |
マグネチックホルダー(KM-12W KANETEC製) |
外観寸法 : 本体 W756×D482×H966mm |
コントローラ W221×D344×H490mm |
質 量 : 本体 140kg |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり |
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