【主な仕様】 |
・倍 率 : 二次電子像(×10~60,000)、反射電子像(×10~30,000) |
・加速電圧 : 二次電子像(5、10、15kV選択)、反射電子像(10、15kV選択) |
・電子銃 : フィラメント・ウェーネルト一体型グリッドの小型電子銃 |
・フィラメント電流 : 標準、高輝度 |
・バイアス電圧 : オートバイアス方式(加速電圧、フィラメント電流に連動) |
・検出器 : 二次電子検出器(E.T検出器)。反射電子検出器(半導体検出器) |
・自動機能 : アライメント、フォーカス、スティグマ、コントラスト、ブライトネス |
・最大試料サイズ : 大きさ 最大70㎜Φ、高さ 最大50㎜ |
・PC関連 : パソコンユニット1台、モニタ1台 |
・電 源 : 単相AC100V 50/60Hz 700VA |
・寸法、質量 : (鏡筒Unit)W325×D490×H430㎜ 約50㎏ |
(電源Box)W200×D480×H270㎜ 約10㎏ |
(ロータリーポンプ)W288.5×D127×H237㎜ 約9㎏ |
【機器ステータス】 |
・取扱説明書あり ・EDS、写真の観察資料は未付属となります。 ・起動、真空引き、高圧ON、SEM像の確認など問題なく完了しております。 |