【仕様】 |
・真空チャンパ : 外径120mm×高さ120mm ガラス製 |
・試料台 : 直径 64mm |
・蒸着方式 : 抵抗過熱式 |
・カーボン電極 : 1組 |
・使用カーボン棒: Φ5.0mm 専用 |
・使用電極 : 0~5.5V、最大100A |
・ベント時間 : 約30S |
・過電流保護回路: 組込み |
・使用条件 : 25℃±5℃ |
・使用圧力 : 20Pa以下 |
・真空ポンプ : 直結型ロータリーポンプ GHD-030(ULVAC製) |
・外寸・重量 |
本 体 : 約W350×D350×H285mm 約12kg |
真空ポンプ : 約W120×D280×H450mm (ミストトラップ含む) 約10kg |
・電 源 : AC100V 50/60Hz |
※弊社にて電源投入、真空引き、カーボンコート確認済みです。 |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり |