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オリンパス ウェハーローダー AL120 管理番号07691

【主な仕様】
 適用ウエハ   : 3インチ固定
 設置カセット数 : 1台(供給、収納兼用)
 ウエハ搬送方式: ウエハ裏面真空吸着メカニカルアーム搬送
 適合顕微鏡   : OLYMPUS MX系
 ステージ     : AL120-VS6 
 ステージ操作方法:XY粗微動及び360°回転機構付き手動ステージ(X方向粗動クラッチ付き)
 ウエハ保持方法 : 真空吸着(真空は搬送装置から供給)※別途ご用意ください。
 搬送装置寸法、質量: W570×D620×H400mm、約36.5kg
 搬送装置電源電圧: AC100~120V±10%、1A、50/60Hz
※写真はMX51の参考組み合わせです。顕微鏡が必要な場合は
  ご相談ください。

【機器ステータス】
取扱説明書あり

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