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アストロデザイン 解析用マニュアルプローバー SE-6003(チラー付属) 管理番号08825

○主な仕様
・ステージ移動量 : X200mm、Y200mm
・サブステージ移動量 : X13mm、Y13mm
・チャックサイズ : 標準チャック ~8インチ
           低温チャック ~8インチ
・ウェハ保持方式  : 真空吸着方式
・設定温度:-40℃~+125℃(冷却媒体:水。エタノール混合溶液)
・顕微鏡サポートタワーチルド角度 : 水平に対して約10度
・プローバー外寸法 : 約W440×D700×H550mm
・重量 : 約65㎏(シールドボックス防振台込み約250㎏)
・電源 : AC100V、50/60Hz

【商品構成】
・プローバー本体
・標準チャック及び低温チャック 各1個
・温度コントローラー:AT-6602
・実体顕微鏡:SZ40(オリンパス製)対物レンズ110AL1.5×、接眼レンズ×30
・顕微鏡用照明電源:TL3(オリンパス製)
・冷却水循環装置:CA-2500(東京理化器械製)
・冷却水送水ポンプ:HPP-1100(東京理化器械製)
・シールドボックス(外寸法:約W800×D900×H1570開放時H2150㎜)

※コンプレッサー、真空ポンプは付属しておりません。
※マイクロポジショナーは別途費用にて付属可能です。ご相談ください

【機器ステータス】
・取扱説明書あり
・チラー及びコントローラーの温度表示で高温側は約120度まで、低温側はは約5度まで動作確認済みです。

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