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日本電子 マグネトロンスパッタリング装置 JFC-1300 管理番号09285

真空チャンパ:外径120mm×高さ120mm ガラス製
試料台:直径 57mm
スパッタリング方式:マグネトロン型
スパッタリング電流:10、20、30、40mA
タイマー:5~300S
高圧安全回路:組込み
使用温度:25℃±5℃
使用圧力:~10^-1Pa以下
真空ポンプ:30L/min 直結型ロータリーポンプ
外寸:W420×D295×H285mm 約10kg
重量:約10kg
電源:AC100V 50/60Hz

※真空ポンプ付属
※ターゲットは付属しておりません


【機器ステータス】
取扱説明書あり

日本電子 マグネトロンスパッタリング装置 JFC-1300JEOL AUTO FINE COATER JFC-1300日本電子 イオンスパッタ JFC-1300
日本電子 オートファインコーター JFC-1300JEOL ファインコーター JFC-1600JEOL ION SPUTTERING jfc-1300

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