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アストロデザイン 解析用マニュアルプローバー SE-6003 管理番号09447

○主な仕様
・ステージ移動量 : X200mm、Y200mm
・サブステージ移動量 : X13mm、Y13mm
・θ調整 : 粗動180° 微動10°
・Z移動量 : 0~25mm(UP/DOWNストローク400um) 
・チャックサイズ : ホットチャック ~8インチ(φ200mm)
・ウェハ保持方式  : 真空吸着方式
・ホットチャック温度範囲 : ~最高300度
・プローバー外寸 : 約W550×D560×H550mm
・重量 : 約60㎏(シールドボックス防振台含み約250㎏)
・電源 : AC100V、50/60Hz
【商品構成】
・プローバー本体
・ホットチャック
・温度コントローラー:AT-6600A
・実体顕微鏡:SZ40(オリンパス製)対物レンズ110AL0.75×、接眼レンズ×30
・顕微鏡用照明電源:TL2(オリンパス製)
・コネクタパネル
・シールドボックス(外寸法:約W800×D750×H1650開放時H2050㎜(突起部含まず))

※コンプレッサー、真空ポンプは付属しておりません。

【機器ステータス】
取扱説明書なし

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