ワークサイズ:200mm(8インチウェハー)まで |
光源:水銀ランプ(ピーク波長:365nm) |
外寸:約W400×D665×H435mm |
重量:約45Kg |
電源:単相 AC200V (50Hz仕様) |
ユーティリティ |
エアー:0.35~0.40MPa |
パージガス:N2 0~30l/min 0.2MPa |
排気:一般排気(冷却ファン内蔵) |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり 50Hz仕様となっておりますが、60Hz仕様へ別途費用で改造も可能です。 |
電子工業分野その他 > UV関連機器 > 半導体製造装置 > ウエハ製造(前工程) > ダイサー 関連