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清和光学 スプレー・パドル小型現像装置 AD-1200 管理番号09713

チャンバー材質  : ステンレス製
基板サイズ    : φ4~6インチ又は□100~150mm基板
テーブル回転数  : ~3000rpm
薬液吐出     : スプレー吐出(スイングノズル式)
レシピ数     : 10
プロセス     : 現像液 1系統
           リンス 1系統
使用薬液     : アルカリ系現像液、アルコール系溶剤
電   源    : AC100V 4A
寸   法    : W550×D400×H440mm※ドア開放時H740mm
重   量    : 約35kg
真空圧      : -10kPa以下
局所排気     : 0.3m3/分

※薬液、リンス液、薬液ボトル、リンスボトル付属しておりません。
※吸着用の真空ポンプ(排気装置)は付属しておりません。必要な際はご相談ください。

【機器ステータス】
取扱説明書なし

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