中古ハイテク機器の買取・販売・レンタル ISO14001認証取得

タナカ・トレーディング

お問合せはコチラ

サービスに関するお問い合わせはお気軽に

ユニオン光学 両面マスクアライナ PEM-800 管理番号09860

・フォトマスクサイズ
  標準対応サイズ:□2.5インチ、□3インチ、□4インチ、□5インチ
  標準対応厚:0.06インチ、0.09インチ
 マスクホルダ(交換式):□5インチ用付属
 マスクホルダ移動:マニュアルスライダ方式
 マスク位置決め:微調整用ハンドルによるX・Yマニュアル移動(X・Yストローク±3mm)
・ウェハサイズ
  標準対応サイズ:□2.5インチ、□3インチ、□4インチ、□5インチ
  標準対応厚:0.06インチ、0.09インチ  標準対応厚:1mm以下
 ウェハチャック(交換式):φ4インチ用付属
 イコライジング機構(平行出し)  ギャップ出し機構
 ウェハステージ移動:マニュアルハンドルによる3軸移動(X・Y・θ)
           X・Yストローク±3mm、θ回転ストローク ±22.5°
・制御        
 プリントギャップ:0~999μm アライメントギャップ:0~999μm
 露光時間:0~99.9sec、100~999sec
 ※但し、入力可能範囲であり、標準使用範囲ではありません
・アライメントスコープ
 対物レンズ10×  接眼レンズNWF10×  総合倍率100×
 観察視野 スプリットフィールド式 光路切替:マニュアル切換え式
 焦準装置マニュアル式
 観察用反射照明:光源24V/150W(ハロゲンランプによるライトガイド照明)
  輝度調整用ボリュームツマミ
・露光用光源装置
 水銀ランプ 250W超高圧水銀灯(有効露光エリア:φ100mm以内)
  シャッター:ロータリーソレノイド式
・ユーティリティ:N2ガス0.4~0.5Mpa :真空21.3Kpa(大気より-80Kpa)以下
 電源:本体AC100V 50/60Hz
    水銀灯点灯装置用 AC100V 50/60Hz      
・外寸:約W750×D820×H1700mm 重量:約450Kg

【機器ステータス】
取扱説明書あり

ユニオン光学 両面マスクアライナ PEM-800Union Mask Aligner PEM-800ユニオン工学 マスクアライナ PEM-800
ユニオン マスクアライナ PEM-800ユニオン光学 両面マスクアライナ PEM-800Union Mask Aligner PEM-800
ユニオン工学 マスクアライナ PEM-800ユニオン マスクアライナ PEM-800ユニオン 両面マスクアライナ PEM-800

顕微鏡  >  実体顕微鏡  >  半導体製造装置  >  ウエハ製造(前工程)

過去の履歴

履歴の削除