・コントローラ : IM-6700 | ||
・測定ヘッド : IM-6125 | ||
・撮影素子 : 660万画素モノクロCMOS | ||
・ディスプレイ : 10.4型、LCDカラーモニター | ||
・視野 : φ100×200mm(広視野)、□25×125mm(高精度) | ||
・最小表示単位 : 0.1μm | ||
・測定精度±2σ : 【連結なし】広視野:±5μm、高精度:±2μm | ||
【連結あり】広視野:±(7+0.02L)μm、高精度:±(4+0.02L)μm | ||
・データ記録 : 250GB | ||
・照明 : 透過 (テレセントリック透過照明、緑色LED) | ||
落射 リング(4分割、白色LED) | ||
・ステージ : Xステージ100mm(電動)、Zステージ30mm(電動) | ||
・ステージ耐荷重 : 2kg | ||
・電源 : AC100V~240V 50/60Hz | ||
・質量 : コントローラ約8kg、ヘッド約28㎏
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【機器ステータス】 |
・取扱説明書付属 |
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