¥280,000.-(送料/消費税別途) ウエハーサイズ : 8インチ |
ダイシングフレーム : 8インチ(ディスコ社規格) |
使用フィルム : ロール状 フィルム幅310mm |
(シート幅300mm セパレータ310mm) |
直径180mm以下 紙芯 穴直径70mm |
イオナイザー : ①後方テープ下部 |
②チャック左側面 |
ユーティリティ : ドライエア 0.4~0.5MPa |
真空 -60~-79KPa |
電源 AC100V 15A |
外 寸 : 約W530×D795×H420mm |
重 量 : 約40kg |
※チェンジキット2個付属しております。 |
※イオナイザー2種あり(ステージ部、テープ部) |
※電源ボックス付き(入力100Vを100V及び24Vへ分割) |
【機器ステータス】 |
取扱説明書、仕様書あり |
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