○主な仕様 |
・チャックサイズ:8インチ(φ200mm) |
・チャックステージ:エアーベアリング機構 |
・ステージ移動量:約X220mm、Y270mm |
・サブステージ移動量:約X10mm、Y10mm |
・ウェハ保持方式:真空吸着方式 |
・Z移動量:0~0.3~3.5mm(3段階)、+約37mm |
・θ調整:約±25°(チャックの配線、配管により変動) |
・外寸:約W560×D770×H620mm (顕微鏡含む) |
・重量:MP-10 本体 約80㎏ ・ユーティリティー: 電源 AC100V 50/60Hz 3A、D種接地 圧縮空気源 0.1Mpa以上(接続口Φ6㎜ワンタッチ) 真空源 -532hPa以下(接続口Φ6㎜ワンタッチ) |
〇付属顕微鏡:FS(ミツトヨ製) |
・接眼レンズ:WF 10X / 24 |
・対物レンズ:M Plan APO5、10、SL20、SL50 ・照明用ファイバーケーブル(照明装置未付属) |
※取扱説明書、顕微鏡用照明、小型真空ポンプ、コンプレッサーなど未付属です。 |
※別途費用にて小型真空ポンプ、顕微鏡用照明、除振台、シールドボックス、マニュピレータなどは 付属可能です。ご相談下さい。 |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし(MP-10A取扱説明書は付属あり) |