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日本マイクロニクス マニュアルプローバー MP-10 管理番号10723

○主な仕様
 ・チャックサイズ:8インチ(φ200mm)
 ・チャックステージ:エアーベアリング機構
 ・ステージ移動量:約X220mm、Y270mm
 ・サブステージ移動量:約X10mm、Y10mm
 ・ウェハ保持方式:真空吸着方式
 ・Z移動量:0~0.3~3.5mm(3段階)、+約37mm
 ・θ調整:約±25°(チャックの配線、配管により変動)
 ・外寸:約W560×D770×H620mm (顕微鏡含む)
 ・重量:MP-10 本体 約80㎏
 ・ユーティリティー:
  電源 AC100V 50/60Hz 3A、D種接地
  圧縮空気源 0.1Mpa以上(接続口Φ6㎜ワンタッチ)
  真空源 -532hPa以下(接続口Φ6㎜ワンタッチ)

〇付属顕微鏡:SF(ミツトヨ製)
 ・接眼レンズ:WF 10X / 24
 ・対物レンズ:M Plan APO5、10、SL20、SL50
 ・照明用ファイバーケーブル(照明装置未付属)

※取扱説明書、顕微鏡用照明、小型真空ポンプ、コンプレッサーなど未付属です。
※別途費用にて小型真空ポンプ、顕微鏡用照明、除振台、シールドボックス、マニュピレータなどは
付属可能です。ご相談下さい。

【機器ステータス】
取扱説明書なし

日本マイクロニクス マニュアルプローバ MP-10MICRONICS JAPAN Manual Prober MP-10日本マイクロニクス マニュアルプローバ MP-10
MJC マニュアルプローバ MP-10NIHON MICRONICS Manual Prober MP-10MJC マニュアルプローバ MP-10
MJC Manual Prober MP-10ミツトヨ 多目的金属顕微鏡ユニット FSMitutoyo 金属顕微鏡 FS

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