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ヤマト科学プラズマドライクリーナー PDC200SY 管理番号11316

・　チャンバ内寸：W400×D250×H150mm

・　プラズマ方式：DP/RIE 切替方式

・　反応ガス：O2、Ar

・　パージガス：N2、ドライエア

・　電極構造：平行平板型

・　電極寸法：W250ｘD170mm

・　電源：1φ AC100V 10A　50／60Hz

・　高周波電源周波数：13.56MHz

・　高周波出力：0～300W

・　外寸：W540×D600×H600mm

・　重量：約100kg

　　付属品：真空ポンプ(ALCATEL製)

【機器ステータス】

取扱説明書あり

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過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号　AIMビル6F
Tel : 093-522-1711　Fax : 093-522-1712

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ヤマト科学 プラズマドライクリーナー PDC200SY 管理番号11316