ニコン 300㎜ウエハ検査顕微鏡 ｴｸﾘﾌﾟｽL300 管理番号11615
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観察法 落射：明視野、暗視野 ステージストローク X方向:350mm、Y方向:300mm 総合倍率 50×、100×、200×、500×、1000ｘ 鏡筒 俯角三眼鏡筒 接眼レンズ CFIUW 10×（視野数25） 照明 落射 対物レンズ LU Plan Fluor 5×,10×,20×,50×,100ｘ その他 電動6孔レボルバ ステージ 14×12インチステージ、300mmウエハテーブル 【機器ステータス】 ・取扱説明書付属
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