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日立 走査型電子顕微鏡 SU3500 管理番号11685

【仕様】
・二次電子像分解能 : 3.0nm(加速電圧30kV、WD5mm、高真空モード)
            7.0nm(加速電圧3kV、WD5mm、高真空モード)
            15.0nm(加速電圧1kV、WD5mm、高真空モード)
・反射電子像分解能 : 4.0nm(加速電圧30kV、WD5mm、低真空モード)
            10.0nm(加速電圧5kV、WD5mm、高真空モード)
・ 倍     率 : 5~300,000倍
・ 検  出  器 : 二次電子検出器、反射電子検出器
・ 加 速 電 圧 : 0.3~30kV
・  低真空設定  : 6~650Pa
・ イメージシフト : ±50um以下(WD=10mm)
・ 最大試料寸法  : 200mm径
・ フィラメント  : カートリッジライプ(タングステンヘアピンフィラメント)
・ 対 物 絞 り : 4孔可動絞り(
・ 試料微動装置  : 5軸モータードライブユニット
            X 0~100mm、Y 0~50mm
            Z(WD)5~65mm、R 回転360度、T 試料傾斜-20~90度
・ 最大試料厚さ  : 80mm(WD10mm)
・ 排  気  系 : ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ
・ 寸法 、重量  : 本体 約W800×D1000×H1600 ※EDX含む、 約470㎏
            ディスプレイ W1000×D1000×H730mm、約160㎏
・ 電     源 : 単相AC100V(±10%)、2.0kVA、D種接地

※付属品・オプション
・エネルギー分散型X線分析装置 X-MaxN20(PC動作不可)
・反射電子検出器
・チャンバースコープ
・5軸モータードライブユニット
・各種試料台等付属品
・油回転ポンプGLD-136B×1台
・コンプレッサ日立0.2LE-5S×1台
・RP用オモリ
・取扱説明書


【機器ステータス】
・EDXにつきましてはPC動作不可となっているため、未確認となります
・電源投入、真空引き、SE像、BSE像などの動作確認は完了しております。
・本体にはキャスタ、アジャスタ足は付いておりません。(床に直接設置するタイプとなります)

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