コントローラ | IM-7000 |
ヘ ッ ド | IM-7030T |
撮影素子 | 1型 660万画素 モノクロCMOS |
ディスプレイ | 10.4型 LCDモニタ (XGA:1024×768) |
視 野 (X軸×Y軸) |
広視野測定モード : 300mm(φ100mm+L200mm)×200mm(φ100mm+L100mm)(4角R50) 高精度測定モード :225mm(□25mm+L200mm)×125mm(□25mm+L100mm) |
最小表示単位 | 0.1μm |
繰り返し精度 | 広視野測定モード : ステージ移動なし:±1μm ステージ移動あり:±2μm 高精度測定モード : ステージ移動なし:±0.5μm ステージ移動あり:±1.5μm |
測定精度 |
広視野測定モード : 連結なし:±5μm 連結測定:±(7+0.02L)μm 高精度測定モード : 連結なし:±2μm 連結測定:±(4+0.02L)μm |
ライトプローブ 測定 |
測定可能領域(XY):90mm×90mm 最大測定深さ :30mm ライトプローブ直径 :Φ3mm 繰り返し精度 :±2μm 測定精度 :±(8+0.02L)μm |
高さ測定 | 測定範囲:0~75mm 測定位置精度(XY):±0.2μm 最小表示単位 :1μm 測定可能領域(XY): 【広視野測定モード】145mm×95mm 【高精度測定モード】107.5mm×95mm 繰り返し精度 :±2μm 測定精度 :±7.5μm |
記 録 | 500GB |
使用周囲温度 | +10~35℃ |
使用周囲湿度 | 20~80%RH (結露なきこと) |
透過照明 | 方式 : テレセントリック透過照明 |
落射照明 | 方式 :4分割マルチアングル照明(電動) :スリットリング照明(電動) |
ステージ | XYステージ:移動範囲:200mm×100mm(電動) Zステージ:移動範囲: 75mm(電動) 耐荷重: 7.5kg |
電源電圧 | AC100~240V 50/60Hz |
質 量 | コントローラー :約8kg ヘッド :約33kg |
付属品 | キーボード・マウス |