アルカテル　ヘリウムリークディテクター　ASM310　【レンタル品】

【仕様　・　機能】

真空法	・最小可検リーク量：　○真空法 1x10^-12Pa.m³/sec 　○スニファー法 1x10^-8Pa.m³/sec ・最大吸気口圧力：1500pa ・ヘリウム排気速度：1.1L/s ・粗引ポンプ速度：1.7m3/h（30L/min）
スニファー法	・最小可検リーク量：1．10^-8Pa.m³／s ・応答速度： 1sm
対応ガス	He
ヘリウムバックグランド除去機能	自動／マニュアル
オペレーターインターフェイス	カラータッチパネルディスプレイ
インターフェイス	RS-232C
起動時間	2min、3.5min（自動感度校正含時）
吸気口径状	NW25
記　　　録	SDメモリーカード
大きさ・重量	W350×D245×H414mm ・ 21kg