観察法 明視野/暗視野 照明 落射/透過 照明系 10WLED白色照明(落射・透過用) 鏡筒 正立三眼鏡筒(100:0/0:100) 測定軸 X・Y・Z ステージ移動量 X150×Y100㎜ Z軸移動量 155㎜ 測定精度 150㎜ストローク(3+3L/150)㎛【L : 測定長(㎜)】
最小分解能 0.1㎛ [マニュアル3軸タイプ] 測定総合倍率 50、100、200、500X(レボルバによる切替タイプ) 外形寸法 465(W)×437(D)×592(H)㎜ 質量 95㎏(標準組合わせ) 設置台は含まれておりません