観察法 明視野/暗視野 照明 落射/透過 照明系 10WLED白色照明(落射・透過用) 鏡筒 正立三眼鏡筒(100:0/0:100) 測定軸 X・Y・Z ステージ移動量 X100×Y50㎜ Z軸移動量 155㎜ 測定精度 100㎜ストローク(3+2L/100)㎛【L : 測定長(㎜)】
最小分解能 0.1㎛ [マニュアル3軸タイプ] 測定総合倍率 50、100、200、500X(レボルバによる切替タイプ) 外形寸法 465(W)×437(D)×592(H)㎜ 質量 約93㎏(標準組合わせ) 設置台は含まれておりません