【レンタル品】東京精密小型表面粗さ測定機サーフコム 130A

【仕様】

測定範囲	X軸（横方向）：50mm Z軸（縦方向）：800μm（測定レンジ/分解能：800μm/10nm、80μm/１nm、8μm/0.1nm）
真直度精度	0.3μm/50mm
規格対応	JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1948、 DIN-1990、ASME-1995、CNOMO 規格に準拠
評価曲線	断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、ろ波中心線うねり曲線、転がり円うねり曲線、転がり円中心線うねり曲線、DIN4776特殊曲線、粗さモチーフ曲線、うねりモチーフ曲線、包絡うねり曲線
特性グラフ	負荷曲線、振幅分布曲線、パワーグラフ
傾斜補正方法	直線補正、R面補正、前半補正、後半補正、両端補正、スプライン補正（直線、R面、両端補正は任意範囲において可能）
倍率	縦倍率（Z軸）：50、100、200、500、1K、2K、10K、20K、50K、100K　自動横倍率（X軸）：1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、5K　自動
測定速度	0.3、0.6、1.5、3mm/s（4速）
検出器	先端半径：2μm、材質：ダイヤモンド測定力：0.75mN
段差解析機能	半導体部品の膜厚及び面積測定に最適
PCカード	テキストファイル出力でパソコンへデータを渡せます。
付属品	小型測定台・バッテリーセット・ロール形状用ロール足・全姿勢ピックアップホルダ・PCカード
本体電源	AC100～240V±10％、50/60Hz、30VA
本体設置寸法	700（W）×300（D）×150（H）mm
本体質量	8kg